Како се глобални полупроводнички процес креће ка напредним чворовима од 3нм/2нм, прецизни титанијумски материјали (АСТМ Б265/Б348, степен 1/2/5 високе{7}}титанијума и легуре титанијума) се унапређују са „помоћних материјала“ на кључне стратешке материјале за производњу полупроводника, као што су ултра-продукти{8} предности чистоћа, ултра-ниска количина нечистоћа, јака термичка стабилност, отпорност на корозију и немагнетна својства. Пажња тржишта и потражња синхроно расту.
Основни покретач: Напредни процеси приморавају надоградњу материјала
Напредни полупроводнички процеси (5 нм и испод) захтевају три главна захтева за материјале: нанометарску прецизност, чистоћу атомског нивоа и екстремну стабилност животне средине:
-Материјал од титанијума високе чистоће (Град 1, чистоћа већа од или једнака 99,999%/5Н): ПВД материјал језгра за распршивање, који се користи за слој бакрене преграде, контактни утикач, за спречавање дифузије атома бакра од контаминације силицијумских плочица, директно одређивање целог процеса и перформанси чипа, м3.
-Прецизне структурне компоненте (разред 2/5): радни сто машине за литографију, комора машине за гравирање, вакумска прирубница, роботска рука за плочице, итд., са ниским коефицијентом термичког ширења (8,6 × 10 ⁻⁶/ степен) и температурном флуктуацијом деформације од само 1 нивоа алуминијума/без нивоа од 3 нивоа тачност.
-Компоненте отпорне на корозију (7. степен): Отпорне на јаку киселину/халогену корозију у опреми за мокро нагризање и чишћење, без загађења металним падавинама, погодне за екстремне радне услове високог вакуума и јаке плазме.
Основне предности америчких стандардних материјала од титанијума
1. Ултра висока чистоћа + ултра-ниске нечистоће: амерички стандардни титанијум високе- класе 1 високе чистоће са контролисаним нечистоћама кисеоника/азота/угљеника<50ppm, no heavy metal pollution such as iron and nickel, meets SEMI F42 standards, and is suitable for advanced process atomic level cleanliness requirements.
2. Термичка стабилност+димензионална прецизност: ниска топлотна проводљивост (21,9В/(м · К)), мали коефицијент топлотног ширења, толеранција до ± 0,005мм, глаткоћа површине Ра Мање од или једнако 0,4 μм, погодно за нано монтажу и вакуумско заптивање.
3. Отпорност на корозију+не-магнетно+ниско ослобађање гаса: природни оксидни слој само-зарастајући, отпоран на Цл ₂/Ф ₂/корозију јаке киселине; Немагнетни и не ометају прецизна кола; Брзина ослобађања ваздуха је изузетно ниска под ултра-високим вакуумом (УХВ), чиме се обезбеђује чистоћа коморе.
4. Лагана и висока чврстоћа: густина од 4,51 г/цм ³ (40% лакша од нерђајућег челика), затезна чврстоћа степена 5 већа или једнака 930 МПа, специфична чврстоћа двоструко већа од нерђајућег челика, погодна за лагане захтеве за брзе покретне делове-.
Основни сценарији примене
-Титанијумски циљни материјал високе чистоће (1. степен): таложење ПВД распршивањем, који се користи за слој баријере за логички/складишни чип и слој лепка, са величином глобалног тржишта од 1,87 милијарди америчких долара у 2024. и ЦАГР од 9,3% од 2026. до 2030. године.
-Вакумска комора/прирубница (Граде 2): Вакум систем за опрему за нагризање и таложење, отпоран на висок притисак, ниско ослобађање гаса и поуздано заптивање.
-Прецизна роботска рука/крајњи ефектор (5. степен): пренос плочице, лагана и висока-снага, прецизно позиционирање и без осипања честица.
-Облога/фиксација отпорна на корозију (7. степен): мокра процесна опрема, отпорна на јаке киселине као што је ХФ/ХЦл, продужава век трајања опреме и смањује трошкове одржавања.
Тржишни тренд: домаћа супституција+технолошки пробој
Проширење глобалног капацитета полупроводника (посебно у копненом делу Кине) довело је до брзог раста потражње за прецизним титанијумским материјалима. У 2023, величина тржишта кинеских прецизних делова од титанијума за полупроводнике ће премашити 3 милијарде јуана, са годишњом стопом раста од више од 25%. Постигнута је стабилна масовна производња америчких стандардних прецизних материјала од титанијума степена 1/2/5 (укључујући ултра-танку титанијумску фолију од 0,05 мм, високо{10}}циљне материјале и прецизне структурне компоненте), са толеранцијама и чистоћом који достижу међународне напредне нивое, помажући да се ланац полупроводничке индустрије може независно контролисати.
Под напредним процесима и домаћом заменом погона на два точка, прецизни титанијумски материјали који испуњавају америчке стандарде постали су основна подршка за унапређење индустрије полупроводника. У будућности ће наставити да се пробијају ка већој чистоћи (6Н), тањим спецификацијама (мање или једнако 0,05 мм) и прецизнијој машинској обради (± 0,002 мм).
Затражите понуду
Емаил:bjcxtitanium@gmail.com
ВхатсАпп:+8613571718779
